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格科半導體成功引入ASML先進ArF光刻機

2022-03-28 來源:網絡整理
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關鍵詞: 格科半導體 ArF 光刻機

3月27日,據格科微官微披露,3月24日,格科半導體再次迎來了建廠重要標志性時刻,整套生產線中的最關鍵設備——ASML先進ArF光刻機成功搬入。


目前,格科微“12英寸CIS集成電路特色工藝研發與產業化項目”推進迅速。廠房和潔凈車間建設已經基本完成,并于2022年2月16日開始主設備的搬入安裝。



2022年3月24日上午10:18,在嚴格遵守防疫政策并做好疫情防控措施的情況下,格科微順利舉辦ASML先進ArF光刻機搬入儀式。格科半導體SVP李朝勇、各部門總監、光刻團隊及廠務團隊出席儀式,共同見證了公司這一里程碑式的重要時刻。