上海新陽1400光刻機安裝調試基本完畢
2022-04-13
來源：網(wǎng)絡整理
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4月12日，上海新陽在投資者互動平臺表示，公司與中芯北方搭建的1400光刻機安裝調試基本完畢。
另外，上海新陽表示，公司研發(fā)費用投入超2億元，且主要系光刻膠項目研發(fā)和參與的國家重大科技項目研發(fā)費用。其稱，公司半導體產(chǎn)品銷售收入不斷增長，都是公司長期以來關心關注研發(fā)和項目推進取得的回報。
