5月11日，德滬涂膜設(shè)備宣布完成首臺Micro LED專用精密狹縫涂布設(shè)備交付，標(biāo)志著公司正式進(jìn)入Micro LED工藝裝備領(lǐng)域。該設(shè)備主要面向Micro LED功能層制備及中試開發(fā)場景，覆蓋基板處理、精密涂布、烘烤及在線檢測等工藝環(huán)節(jié)。

圖片來源：德滬涂膜

據(jù)介紹，該設(shè)備采用高集成化設(shè)計(jì)，可兼容不同尺寸基板及多種上料方式，并集成基板清洗、精密狹縫涂布、加熱烘烤、在線膜厚測量等功能，實(shí)現(xiàn)從上料到成膜檢測的連續(xù)化工藝流程。相比傳統(tǒng)多設(shè)備串聯(lián)模式，可降低中試階段的工藝切換復(fù)雜度，提升開發(fā)效率。

在核心工藝方面，Micro LED功能層對膜厚均勻性及起涂穩(wěn)定性要求較高。德滬表示，其針對涂布起始段膜厚控制需求，開發(fā)了新的供液泵系統(tǒng)、供液系統(tǒng)及工藝控制軟件，并通過工藝優(yōu)化提升膜層均勻性與穩(wěn)定性，以滿足Micro LED中試及多品種開發(fā)需求。

資料顯示，德滬涂膜設(shè)備成立于2014年，主要從事鈣鈦礦電池、平板顯示、集成電路先進(jìn)封裝等領(lǐng)域的精密涂膜設(shè)備研發(fā)與制造。此次切入Micro LED賽道，也顯示出公司正將精密成膜技術(shù)進(jìn)一步延伸至新型顯示領(lǐng)域。

值得一提的是，隨著Mini/Micro LED產(chǎn)業(yè)化推進(jìn)，相關(guān)設(shè)備需求也持續(xù)增加。5月11日，博輝特宣布，在京東方珠海晶芯Mini/Micro LED COB擴(kuò)產(chǎn)項(xiàng)目設(shè)備招標(biāo)中成功中標(biāo)，涉及自動化在線傳輸系統(tǒng)、真空貼膜機(jī)及擴(kuò)晶機(jī)等設(shè)備。

此外，4月26日，矽電股份宣布，已分別與江西兆馳半導(dǎo)體有限公司及江西兆馳晶顯有限公司簽署固定資產(chǎn)采購合同，相關(guān)設(shè)備主要用于更小尺寸、更高精度的Mini/Micro LED芯片測試。（LEDinside整理）