被稱為“中國刻蝕機(jī)之父”的尹志堯，在美國深耕數(shù)十年，手握幾百項(xiàng)專利，一手托起兩家世界頂尖設(shè)備公司。60歲時，他毅然放棄百萬年薪回國創(chuàng)業(yè)，回國時，所有員工不許帶文件，用空白電腦從頭開始。22年后，中微公司市值突破2000億元，設(shè)備進(jìn)入臺積電5納米、3納米先進(jìn)制程供應(yīng)鏈，他本人也恢復(fù)了中國國籍。

5月16日，中微公司董事長尹志堯在做客央視財(cái)經(jīng)《對話》節(jié)目中表示，國內(nèi)大部分客戶都愿意用國產(chǎn)設(shè)備，但還是先入為主認(rèn)為國外設(shè)備比較好。

中芯國際創(chuàng)始人、興華芯創(chuàng)始人張汝京也接受了采訪。尹志堯回憶創(chuàng)業(yè)初期的支持：“還沒決定回來的時候，我就問張汝京博士，如果我回國做設(shè)備，你支持嗎？ ”張汝京表示：“我一定支持。” 

面對國產(chǎn)設(shè)備的試錯風(fēng)險，張汝京帶頭“吃螃蟹 ”：“試新的設(shè)備一定會有風(fēng)險，這個時間成本我們來負(fù)責(zé)。” 正是這份包容與信任，讓中微設(shè)備快速完成驗(yàn)證迭代，尹志堯透露：“到現(xiàn)在為止，中芯國際的設(shè)備至少800臺來自中微。”

尹志堯在節(jié)目中呼吁更多下游客戶支持國產(chǎn)設(shè)備：“希望國內(nèi)客戶能給設(shè)備公司更多機(jī)會。”張汝京也表示：“如果沒有人使用，設(shè)備永遠(yuǎn)不會進(jìn)步。”

中國“半導(dǎo)體之父”張汝京表示：“試新的設(shè)備一定會有風(fēng)險，但是我們試的時候不會貿(mào)然試很多，就是小批量的，先試5片、25片，再就是50片、100片，而且時間蠻長的，雙方都要負(fù)責(zé)。比如我們用中微的設(shè)備，設(shè)備給我們的時候，我們并沒有付錢，這是中微投資者的，但是后面測試時，芯片就是我們自己負(fù)責(zé)，時間成本是我們負(fù)責(zé)，大家配合很好以后成功了，這個投資絕對劃得來。如果沒有人使用國貨，怎么會進(jìn)步呢？不使用就不知道毛病在哪里，不知道毛病怎么改，也不要覺得我一試不好，不用了。”

尹志堯表示，國內(nèi)客戶采用國產(chǎn)設(shè)備有一個思想的障礙，就是實(shí)際的數(shù)據(jù)證明，國外的領(lǐng)先設(shè)備引進(jìn)后，一進(jìn)生產(chǎn)線問題很少。可是國內(nèi)的設(shè)備一進(jìn)生產(chǎn)線，開始總有很多問題，需要花很多時間解決。這是一種先入為主的概念，認(rèn)為國外的設(shè)備比較好，而國內(nèi)設(shè)備有很多問題。

尹志堯以其20年在美國工作的經(jīng)驗(yàn)分享稱：“其實(shí)海外設(shè)備廠商每一臺新設(shè)備進(jìn)入最先進(jìn)像臺積電的、三星這樣的客戶產(chǎn)線時，一開始的表現(xiàn)也是并不完美。也是需要經(jīng)過兩三年，并在臺積電、三星這樣領(lǐng)先的公司幫助下，逐漸將設(shè)備調(diào)試改進(jìn)得越來越好，客戶也提了很多意見。然后當(dāng)這個設(shè)備引入到中國時，實(shí)際上已經(jīng)經(jīng)過兩三年的歷練了，所以國內(nèi)客戶拿到的時候肯定是好的。國產(chǎn)設(shè)備一開始進(jìn)入國內(nèi)生產(chǎn)線，也同樣會存在問題，并不是說國內(nèi)設(shè)備真的就做得不好，是因?yàn)榄h(huán)境不一樣。所以希望國內(nèi)客戶能給國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)更多機(jī)會。”

尹志堯表示，2023年12月，中微公司決定進(jìn)入大平板設(shè)備領(lǐng)域（此前大概有17種工藝設(shè)備全部依賴進(jìn)口）。這種設(shè)備重達(dá)150噸，長15米寬15米，有兩層半樓高。按照尹志堯的經(jīng)驗(yàn)，開發(fā)這樣的設(shè)備至少需要3-7年。但中微公司的精銳團(tuán)隊(duì)只用12個月就從一張白紙做出了可運(yùn)轉(zhuǎn)的設(shè)備，不到4個月就達(dá)到客戶下一代要求，18個月就運(yùn)到生產(chǎn)線上并通過核準(zhǔn)。我們現(xiàn)在已經(jīng)有能力來做最先進(jìn)的設(shè)備。

從零起步的自主創(chuàng)新，中微公司用三年時間打破國外刻蝕機(jī)領(lǐng)域的長期壟斷。尹志堯介紹：“我們首創(chuàng)了甚高頻去耦合反應(yīng)離子刻蝕技術(shù)，后來國際三大設(shè)備公司都按這個方向做，現(xiàn)在100%的CCP刻蝕機(jī)都在用這個方法。” 

此外，中微首創(chuàng)的雙臺機(jī)設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了單臺設(shè)備同時刻蝕兩片硅片，材料節(jié)省30%以上，且成本更低、性能更穩(wěn)定。2007年，中微就推出了首臺雙反應(yīng)臺國產(chǎn)刻蝕設(shè)備，而這份突破的背后，離不開國產(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的“雙向奔赴”。（校對/趙月）