被稱為“中國刻蝕機之父”的尹志堯，在美國深耕數十年，手握幾百項專利，一手托起兩家世界頂尖設備公司。60歲時，他毅然放棄百萬年薪回國創業，回國時，所有員工不許帶文件，用空白電腦從頭開始。22年后，中微公司市值突破2000億元，設備進入臺積電5納米、3納米先進制程供應鏈，他本人也恢復了中國國籍。

5月16日，中微公司董事長尹志堯在做客央視財經《對話》節目中表示，國內大部分客戶都愿意用國產設備，但還是先入為主認為國外設備比較好。

中芯國際創始人、興華芯創始人張汝京也接受了采訪。尹志堯回憶創業初期的支持：“還沒決定回來的時候，我就問張汝京博士，如果我回國做設備，你支持嗎？ ”張汝京表示：“我一定支持。” 

面對國產設備的試錯風險，張汝京帶頭“吃螃蟹 ”：“試新的設備一定會有風險，這個時間成本我們來負責。” 正是這份包容與信任，讓中微設備快速完成驗證迭代，尹志堯透露：“到現在為止，中芯國際的設備至少800臺來自中微。”

尹志堯在節目中呼吁更多下游客戶支持國產設備：“希望國內客戶能給設備公司更多機會。”張汝京也表示：“如果沒有人使用，設備永遠不會進步。”

中國“半導體之父”張汝京表示：“試新的設備一定會有風險，但是我們試的時候不會貿然試很多，就是小批量的，先試5片、25片，再就是50片、100片，而且時間蠻長的，雙方都要負責。比如我們用中微的設備，設備給我們的時候，我們并沒有付錢，這是中微投資者的，但是后面測試時，芯片就是我們自己負責，時間成本是我們負責，大家配合很好以后成功了，這個投資絕對劃得來。如果沒有人使用國貨，怎么會進步呢？不使用就不知道毛病在哪里，不知道毛病怎么改，也不要覺得我一試不好，不用了。”

尹志堯表示，國內客戶采用國產設備有一個思想的障礙，就是實際的數據證明，國外的領先設備引進后，一進生產線問題很少。可是國內的設備一進生產線，開始總有很多問題，需要花很多時間解決。這是一種先入為主的概念，認為國外的設備比較好，而國內設備有很多問題。

尹志堯以其20年在美國工作的經驗分享稱：“其實海外設備廠商每一臺新設備進入最先進像臺積電的、三星這樣的客戶產線時，一開始的表現也是并不完美。也是需要經過兩三年，并在臺積電、三星這樣領先的公司幫助下，逐漸將設備調試改進得越來越好，客戶也提了很多意見。然后當這個設備引入到中國時，實際上已經經過兩三年的歷練了，所以國內客戶拿到的時候肯定是好的。國產設備一開始進入國內生產線，也同樣會存在問題，并不是說國內設備真的就做得不好，是因為環境不一樣。所以希望國內客戶能給國產設備企業更多機會。”

尹志堯表示，2023年12月，中微公司決定進入大平板設備領域（此前大概有17種工藝設備全部依賴進口）。這種設備重達150噸，長15米寬15米，有兩層半樓高。按照尹志堯的經驗，開發這樣的設備至少需要3-7年。但中微公司的精銳團隊只用12個月就從一張白紙做出了可運轉的設備，不到4個月就達到客戶下一代要求，18個月就運到生產線上并通過核準。我們現在已經有能力來做最先進的設備。

從零起步的自主創新，中微公司用三年時間打破國外刻蝕機領域的長期壟斷。尹志堯介紹：“我們首創了甚高頻去耦合反應離子刻蝕技術，后來國際三大設備公司都按這個方向做，現在100%的CCP刻蝕機都在用這個方法。” 

此外，中微首創的雙臺機設計，實現了單臺設備同時刻蝕兩片硅片，材料節省30%以上，且成本更低、性能更穩定。2007年，中微就推出了首臺雙反應臺國產刻蝕設備，而這份突破的背后，離不開國產半導體產業的“雙向奔赴”。（校對/趙月）